≫エミッタ-アセンブリ構造の組立が簡単
≫エミッタ-アセンブリに特殊部品を使用していない
≫ハース位置と装置上部がフラット
≫フィラメントの交換が簡単
≫ビームスキャン幅±20mm
≫超多層膜蒸着を実現
≫1stポールピースカバー付【特許申請中】