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技術コラム2 結晶 Technical Column

結晶部門の概要
 結晶技術は、電化製品や自動車産業など、産業の核となるデバイス等に使われる技術であり、公・民間を問わず、先端技術の開発・生産が絶え間なく行われている分野です。日新技研は1997年に結晶育成装置の拡充を行って以来、お客様に結晶技術開発および生産をサポートしてきた実績があります。
 最近では 、LED基盤に使用するサファイア単結晶や、電気自動車に採用が期待されるSiC単結晶など、最先端技術の生産について先手を取ろうと各企業が競い合っています。
ただし、研究開発から生産に移行する際、投資に応じた効果が見込めるかどうかが問題です。そこで私ども装置メーカーとしては「良いものをより安く」製作することが課題となっています。
当部門の技術の強み
◎当社のコア技術である高周波電源を使用した結晶育成装置の場合、大きなメリットとして、省スペース、省エネが挙げられます。特に生産装置でも何台も同じ装置を並べる際には、スペースの有効利用ができる点が日新技研最大の強みと言えるでしょう。
◎酸化物単結晶引上装置では、2分割チャンバー及びタッチパネルを採用することにより、作業性を大幅に改善しました。これも特筆できる技術のひとつです。(下図)
2分割チャンバー写真
今後の取り組み方針
 海外を視野に入れた生産体制の構築、専門人員の確保などが、今後の大きなテーマと考えています。また、最先端の技術に協力できる体制を維持していくため、柔軟かつ素早い対応ができる組織に改革していく必要があります。
 結晶装置は、溶解温度に安定性や長時間の連続運転が必要とされ、より高性能、低価格が求められます。日新技研では当社にしかできない技術を取り組むなど、より良い装置を製作していく考えです。