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技術コラム3 電子ビーム Technical Column

電源&電子ビーム部門の概要
 電子ビーム(EB)源は、蒸着装置内で蒸着材料を蒸発させるために熱源として使用されています
日新技研のEB源は、成膜装置のキーコンポーネントのひとつとして、主に成膜装置や蒸着装置のメーカーに供給されます。一般的には可能な限りメンテナンスフリーなEB源が望まれ、特定のお客様にはカスタマイズしたEB源開発にも取り組んでおります。
当部門の技術の強み
◎高エミッション出力用EB源(特許申請中)
光学分野用EB源は一般的にエンドユーザーでは加速電圧6kVで使用されることが多いようです。当社の高エミッション出力用EB源は、従来のEB源よりエミッション電流が多く出力できるため、4kVでも成膜できます。また、金属膜の成膜では加速電圧10kVを必要としていたものが、同様に6kVでも成膜できるようになり、放電等のトラブル要因をさらに抑えることができます。
◎オールフラット型EB源
当社が提供しているEB源は、ルツボを持たないEB源ユニットです。これは、お客様にて自由にルツボを設計していただくためですが、通常そうしたユニットには、ルツボ側やEB源上部にポールピースが突き出ていました。オールフラット型EB源は、突起物のない箱型のユニットとなっており、メンテナンスが非常に容易になっています。
今後の取り組み方針
 従来よりもさらに高エミッション電流を出力可能なEB源を開発すること。あるいは、従来と同等の性能を持つEB源をより低コストで開発すること。これらは、お客様の要望をもとに開発を進めているテーマであり、克服すべき課題として取り組んでいます。
今後とも、高い付加価値を要求される分野で装置メーカーやエンドユーザーと技術協力し、より高品質・高性能な装置を開発していきたいと考えています。