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SiCモジュール搭載高周波電源

新高周波電源開発
自社製高周波電源のインバータ部をIGBTモジュールからSiCモジュールに置き換えた新しいタイプの高周波電源を開発。
初年度は、研究用途向けに小容量5kWタイプから販売し、順次生産機向けに出力UP対応を予定しております。
変換効率99%
SiCモジュールの安定的な制御を実現(※1)
当社従来電源比で、平均10%以上の変換効率UPとMAX99%の変換効率を達成しています。

完全空冷
SiC特性を活かし、5kWタイプは完全空冷化での運用を実現。連続運転で電源各部の温度を確認。経年劣化等による水漏れリスクがなくなります。
省エネ効果
当社の小型真空溶解装置にて純鉄400gの溶解試験において、SiC電源による省エネ効果を確認しております。