選択型電子ビーム源
NEG-06Nシリーズ

1つのベースで用途に合わせたカスタマイズが可能な電子ビーム源です。
垂直性抜群の「NEG-06N型電子ビーム源」をベースに、反射電子対応型ポールピースを取付けた「NEG-06NF」の選択ができます。
さらにDEF（電磁石）を取付け加速電圧可変を可能にした「NEG-06N（F）‐D」やワイドスキャン型「NEG-06N（F）‐WS」へのカスタマイズも可能です。

共通特徴

• ポールピースカバーを標準採用
• EB源上面からの作業により簡単なメンテナンス
• 抜群の安定性と再現性
• ポールピース交換によりN型、NF型の切り替えが可能

共通仕様