高温アニール装置
高温アニール装置
高周波電源を使用し、真空引き後に不活性ガス雰囲気において、石英管内にセットしたサセプタ内の材料をアニールする装置です。
特徴
- サセプタ昇降機構により試料の脱着が容易にできます。
- 独自のサセプタ設計により、面内温度分布が抜群に優れています。
- 高速アニール用として最適です。
仕様
| 加熱温度 | MAX 1900℃ |
| 高周波電源 | 50kW |
| 基板処理枚数 | 4インチウェハ1枚 |
| サセプタ寸法 | Φ110×50h |
| 雰囲気 | 真空、Ar、N₂（常圧） |
| 到達圧力 | 1.32×10⁻³Pa |
| 測温 | 放射温度計による測温 |
| 電源容量 高周波電源 | 3Φ 200V 60kVA |
| 電源容量 制御部 | 3Φ 200V 5kV |
| 冷却水 高周波電源 | 0.25MPa 50ℓ/min |