μ-PD装置（結晶引き下げ装置）
μ-PD装置（結晶引き下げ装置）
高周波誘導加熱式によるマイクロ引下げ結晶育成装置です。
特徴
- 高速で結晶育成が可能なため、物性評価用に最適です。
- ルツボ底の形状に合わせた結晶育成が可能です。
- グローブボックス方式により、高い作業性を実現しています。
仕様
| 加熱温度 | MAX 2100℃ |
| 高周波電源 | 30kW |
| 移動速度 低速 | 0.05～1.20mm/min |
| 移動速度 中速 | 1.0～30.0mm/min |
| 移動速度 高速 | 12～350mm/min |
| 移動ストローク | 675mm(結晶引下げ可能長300mm) |
| ルツボ | 外径Φ20×46H～Φ80×80H |
| 電源容量 高周波電源 | 3Φ 200V 36kVA |
| 電源容量 制御盤 | 3Φ 200V 6kV |
| 冷却水 | 70ℓ/min 0.2MPa |
| 雰囲気 | O₂、H2、Ar、N₂、Air(常圧) |