機能性材料の進化を加速する
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OUTLINE
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新素材開発製造装置
1.各種金属の溶解炉
真空溶解炉
大気溶解炉
真空アーク溶解炉
傾角鋳造装置
高純度活性金属真空溶解炉
真空連続鋳造装置
2.液体急冷凝固装置
液体急冷凝固装置
急冷薄片製造装置
3.粉末作製装置
ガスアトマイズ装置
ハイブリッド装置
水アトマイズ装置
回転ディスク装置
メカニカルアロイング装置
4.各種研究装置
一方向凝固、単結晶作製装置
ゾーンメルティング装置
真空高温焼結装置
真空ホットプレス装置
真空熱処理装置
結晶成長装置
超小型単結晶引上装置
酸化物単結晶引上装置
μ-PD装置（結晶引き下げ装置）
高温アニール装置
SiC単結晶成長装置
GaP・InP高圧合成装置
電子ビーム
1.電子ビーム源
電子ビーム源（光学超多層膜用）
電子ビーム源（インナーポールピース型）
電子ビーム源（選択型）
2.電源
電子ビーム用 5kW電源
電子ビーム用 10kW電源
高周波電源
高周波電源
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