電子ビーム部門

電子ビーム源は、蒸着装置内で蒸着材料を蒸発させるための熱源として使用されています。
日新技研の電子ビーム源は、成膜装置のキーコンポーネントのひとつとして、
主に成膜装置や蒸着装置メーカーに供給されます。
一般的には、可能な限りメンテナンスフリーの電子ビーム源が望まれます。
またお客様の要望に応えるための、カスタマイズした電子ビーム源の開発にも取り組んでいます。

電子ビーム部門の主な製品

当部門の技術の強み

メンテナンス性の向上

オールフラット型電子ビーム源

日新技研が提供している電子ビーム源は、ルツボを持たない電子ビーム源ユニットです。
これは、お客様にて自由にルツボを設計していただくためですが、通常そうしたユニットには、ルツボ側や電子ビーム源上部にポールピースが突き出ていました。
オールフラット型電子ビーム源は、突起物のない箱型のユニットとなっており、メンテナンスが非常に容易になっています。

二次電子対策

二次電子対策として、ポールピース選択型EB源を開発しました。
ポールピースを切り替えることにより、二次電子を抑制します。

今後の取り組み方針

お客様の要望に応じたコストと安定供給を実現させるため、日々努力しております。
これらは変わっていく時代背景をもとに求められるテーマであり、克服すべき課題として取り組んでいます。
今後とも、高い付加価値を要求される分野で装置メーカーやエンドユーザーと技術協力し、より高品位・高性能な電子ビーム源を開発していきます。